LUYOR-3325G路陽便攜式黃綠光表面檢查燈-用于晶圓表面質量檢測

采用了36w的高功率led作為光源，能夠發出570-580nm的黃綠光，光斑均勻，產品輕便，可以手持著檢查產品表面的顆粒物、劃痕、手印等產品缺陷，也可以配合臺式支架作為臺式表面檢查燈進行長時間檢查。

LUYOR-3325G路陽便攜式黃綠光表面檢查燈與 100 瓦高壓汞燈相比的優勢：

1.輕便：沒有繁重電源箱，手持操作，方便快捷。

2.省時：即可即用，無需等待。

3.經濟：光源壽命長達50000小時，無須頻繁更換燈泡。堅固耐用、維護成本低

4.光斑均勻，檢查效率高，減少漏檢。

5.安全：長時間運行，不發燙，沒有燙傷危險。

6.高效：led光源，發光效率高，節省能源。

7.光譜純正：不會產生紫外線。

上圖:交流供電的便攜式表面檢查燈LUYOR-3325G

可用LUYOR-3325G檢查的晶圓類型：

半導體和芯片制造中的晶圓檢測

太陽能行業和光伏發電的晶圓測試

所有晶圓尺寸的視覺晶圓表面測試：25mm（1英寸）、38mm（1.5英寸）、51mm（2英寸）、75mm（3英寸）、100mm（4英寸）、125mm（5英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、300mm（12英寸）、450mm（18英寸）

外延晶圓的檢測

單晶硅片和多晶晶片的光學測試

硅片表面的目視測試

也可以檢查方形晶圓

原晶圓和結構化晶圓的測試

外延晶圓（EPI晶圓）和SOI晶圓表面分析

用黃光燈測試金晶圓

使用 紫外燈目視檢查晶體硅片

所有材料晶圓的光學表面檢測：硅、鍺、碳化硅、砷化鎵、藍寶石、玻璃等。

SEMI標準晶圓的目視檢測

鍵合晶圓、膠帶晶圓的質量檢查

視覺晶圓檢測也適用于裸晶圓、薄晶圓和扇出晶圓

強曲面晶圓（eLWB等）的光學質量控制和檢測等。

上圖：電池供電款表面檢查燈LUYOR-3325GD

顆粒檢測-減少晶圓生產/半導體生產中的污染

除了晶圓檢測過程中的目視表面檢測，即通過黃光燈或綠光燈進行部分自動化的晶圓檢測外，許多半導體制造商還有進一步的要求：

使用測試燈檢查系統中的顆粒污染

使用黃光表面檢查燈或UV-LED  紫外線燈進行粒子檢測

晶圓生產過程中潔凈室中質量控制的顆粒檢查

搜索并查找用于清潔半導體生產中機器的顆粒

在持續的質量控制過程中清潔和保持生產設備的清潔

在大多數情況下，顆粒檢測只能通過人工檢查進行，因此可以使用便攜式表面檢查燈、綠燈或紫外線燈進行檢查。

上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查晶圓表面顆粒物

上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查玻璃屏幕的劃痕和顆粒物